真空泵選型的確定與計算

真空泵選型的確定與計算

真空泵選型選用

真空泵選型時，需要注意下列事項：

1、真空泵選型的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。

通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。

 2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，真空泵選型的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為

510-4~510-6mmHg。因而，真空泵選型的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。

又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應(yīng)小于110-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

 4、真空泵選型。由于真空泵選型有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。

另外，有的真空泵選型不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種真空泵選型，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。

如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。真空泵選型，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。

如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，真空泵選型，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵選型工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵選型的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。

主真空泵的選擇計算

S=2.303V/tLog(P1/P2)

其中：

S為真空泵選型(L/s)

V為真空泵選型真空室容積（L）

t為達到要求真空度所需時間(s)

P1為真空泵選型初始真空度(Torr)

P2為真空泵選型要求真空度(Torr)

例如：

V=500L

t=30s

P1=760Torr

P2=50Torr

則: S=2.303V/t Log(P1/P2)

       =2.303x500/30xLog(760/50)

       =35.4L/s

      當(dāng)然上式只是理論計算結(jié)果，還有若干變量因素未考慮進去，如管道流阻、泄漏、過濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實際上還應(yīng)當(dāng)將**系數(shù)考慮在內(nèi)。